Bernoulli Chuck 依据用处可以选择①伯努利式Chuck ; ②旋风真空吸盘式Chuck。 ①伯努利式Chuck 1.为了呼应浩瀚客户的需..
SAL3481HV 1. 实用于100-200mm晶圆, 可实用于多种晶圆的新型Aligner 2. 可实用于硅片,通明,半通明晶圆等分歧材质晶..
GCR4280_EDGE GRIP 1. 无尘室用多轴构造设计,4轴程度多关节机械手臂。 2. 具有450mm晶圆翻转功效,边握式Chuck。 3. 高强度..
GTCR5280_300mm 1. 可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴程度多关节机械手臂GTCR5000系列。 2. 搭载Twin Chuck构造可以或许完成和双..
GCR4210_STEPPING 1. 无尘室用多轴构造设计,4轴程度多关节型机械手臂GCR4000-PM系列。 2. 实用于300mm半导体临盆设备外部,..
STCR4160SN 1. 无尘室用4轴圆柱型机械手臂 2. 高C/P值和高速传输特征,实用于2吋-300mm晶圆传输的新型双臂机械手臂 3..
SCR3160CSN 1. 无尘室用3轴圆柱型机械手臂 2. 坚持高C/P值和高速传输特征,实用于2吋-300mm晶圆传输的新型单臂机械手..
立体传输机械手臂/Robot ●运用于Semiconductor、LED、FPD、Touch Panel的临盆设备。 ●可整合于EFEM、Sorter及检测体系。 ●操作..